微型电动隔膜泵是用微型直流电动机（一般电压为5V、12V、24V的电动机）做动力驱动装置，驱动内部机械偏心装置做偏心运动，由偏心运动带动内部的隔膜做往复运动。从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩（压缩时抽气口关闭，排气口打开形成微正压）、拉伸（压缩时排气口关闭，抽气口打开形成负压），在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压（吸）入泵腔，再从排气口排出。

正因为抽气口处或者抽排气口可以与外界大气形成压力差，同时不像大型真空泵需要润滑油和真空泵油，不会污染工作介质，而且具有体积小巧、噪音低、免维护，可以连续24小时运转等优点，所以微型真空泵被作为动力装置，广泛用于气体采样、气体循环、真空吸附、加速过滤、汽车真空助力等等场合，在医疗、卫生、科研、环保等领域得到了广泛的应用。