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普达特半导体设备OCTOPUS平台首发出货
2023-08-15  来源:中国起重机械网  人气: 4422
 
 
  8月8日下午,普达特半导体设备OCTOPUS渠道首发出货,为半导体设备工业国产化发展再添浓墨重彩一笔。
 
  徐州市副市长、铜山区委书记、徐州高新区党工委书记龚维芳,普达特科技有限公司董事长、首席执行官刘二壮等一起发动普达特半导体设备OCTOPUS渠道首发出货。
 
  普达特半导体设备(徐州)有限公司坐落在徐州高新区,总占地面积30000平方米,主要生产应用于半导体晶圆制造全流程的高端单片机清洗设备与化学堆积工艺设备,太阳能电池片制造流程中的各类湿法化学工艺的槽式及链式设备,以及业内创始的双层链式机渠道。2022年5月,生产基地正式投产,同年6月,首台湿法设备出货,拥有彻底自主知识产权的半导体高端单片清洗机CUBE系列已经取得头部芯片制造企业订单。
 
  普达特OCTOPUS渠道标配16个腔体,腔体和化学药液供给系统选用同垂直面阵列布局,在腔体颗粒度操控、晶圆工艺技术指标、下降金属剩余等方面达到了国外同类产品水平。
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